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超精密加工

2019-05-10

數控鏜床加工給大家介紹一下超精密加工。

20世紀60年代為了適應航天和軍工等尖端技術的需要而發展起來的精度加工技術。到80年代初,其最高加工尺寸精度已可達10納米(1納米=0.001微米)級,表麵粗糙度達1納米,加工的最小尺寸達 1微米,正在向納米級加工尺寸精度的目標前進。納米級的超精密加工也稱為納米工藝(nano-technology) 。超精密加工是處於發展中的跨學科綜合技術。20 世紀 50 年代至 80 年代為技術開創期。20 世紀 50 年代末,出於航天、國防等尖端技術發展的需要,美國率先發展了超精密加工技術,開發了金剛石刀具超精密切削——單點金剛石切削(Single point diamond turning,SPDT)技術,又稱為“微英寸技術”,用於加工激光核聚變反射鏡、戰術導彈及載人飛船用球麵、非球麵大型零件等。


簡介:20世紀60年代為了適應核能、大規模集成電路、激光和航天等尖端技術的需要而發展起來的精度極高的加工技術。超精密加工的精度比傳統的精密加工提高了一個以上的數量級。到20世紀80年代,加工尺寸精度可達10納米(1×10-8米),表麵粗糙度達1納米。超精密加工對工件材質、加工設備、工具、測量和環境等條件都有特殊的要求,需要綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服係統、計算機控製以及其他先進技術。工件材質必須極為細致均勻,並經適當處理以消除內部殘餘應力,保證高度的尺寸穩定性,防止加工後發生變形。加工設備要有極高的運動精度,導軌直線性和主軸回轉精度要達到0.1微米級,微量進給和定位精度要達到0.01微米級。對環境條件要求嚴格,須保持恒溫、恒濕和空氣潔淨,並采取有效的防振措施。加工係統的係統誤差和隨機誤差都應控製在 0.1微米級或更小。這些條件是靠綜合應用精密機械、精密測量、精密伺服係統和計算機控製等各種先進技術獲得的。


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